超快激光器在薄片玻璃中實現微加工
發布人:新特光電集團 時間:2017-05-16 關注:

科學家正在研究如何使用超短脈沖(也稱為超快脈沖)激光器將微結構蝕刻到薄片玻璃中。在分析應用(片上實驗室)和電子及消費領域辉煌彩票注册官方网站,將微結構刻蝕到薄片玻璃中存在著很多可能的應用辉煌彩票注册官方网站。

用超快激光以特定的方式照射玻璃,能夠使玻璃對隨后的濕法化學蝕刻的敏感度提升一千倍。這意味著可以通過玻璃塊引導直徑幾微米的激光束,并且隨后在玻璃體內刻蝕出精細的管道。這種方法可以用來創建微型孔辉煌彩票注册官方网站,將完整的微流體系統刻蝕到玻璃體中,或者實現具有極高表面質量的切口。

在這種現象可以成為工業過程之前,首先必須要回答一些問題?辉煌彩票注册官方网站;卮疬@些問題,也是德國聯邦教育和研究部(BMBF)資助的飛秒數字光子生產(Femto Digital Photonic Production)聯合研究項目的目標。

超快激光器在薄片玻璃中實現微加工

自2014年以來辉煌彩票注册官方网站,德國亞琛工業大學和弗勞恩霍夫激光技術研究所(ILT)的代表們,已經與六家公司合作,研究用超快激光脈沖加工透明材料時所出現的新現象。他們已經開發了選擇性激光刻蝕(SLE)技術辉煌彩票注册官方网站,并且已經測試了用技術加工幾種不同類型的玻璃材料,包括石英玻璃、藍寶石辉煌彩票注册官方网站辉煌彩票注册官方网站、Borofloat 33 玻璃和康寧 Willow 玻璃。在Borofloat 33 中,激光結構化區域和非結構化區域之間的刻蝕選擇度達到了1000:1,而在 Willow 玻璃中該數字約達到了100:1。

超快激光器在薄片玻璃中實現微加工

在該項目的下一階段辉煌彩票注册官方网站,將在亞琛工業大學進行實驗,并在激光制造過程指令的非線性動力學研究部(NLD)運行復雜的模擬。光學系統技術(TOS)主席將專注于優化系統中的光學器件。

研究人員正在與三家激光源制造商(Amphos、Edgewave和Trumpf)和三家系統供應商(4JET辉煌彩票注册官方网站、LightFab和Pulsar Photonics)合作。他們的目標是為大表面應用開發多光束系統,以及為微加工開發較小的系統。

LightFab公司是誕生于亞琛工業大學的一家初創公司。LightFab公司使用SLE技術生產由石英玻璃制造的3D精密零件。LightFab公司的機器,大大提高了用于原型制造和系列產品生產的玻璃部件3D打印的生產率辉煌彩票注册官方网站,使得可以利用SLE工藝實現部件的批量生產辉煌彩票注册官方网站。

該項目的合作伙伴們看到了該技術的眾多潛在應用辉煌彩票注册官方网站。對于微流體而言,它不僅能在玻璃材料中生產通道,而且還能生產噴嘴和其他微型器件。該技術還能在鉆孔和切割過程中提供獨特優勢辉煌彩票注册官方网站??涛g能夠實現無張力材料燒蝕辉煌彩票注册官方网站,這一特性具有很多優勢,例如在半導體技術中制造中介層結構時,這項技術就非常有利。它能夠產生 10μm 以下的微型結構。

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